[반도체실무과정] 8대공정 : 금속배선 및 평탄화 공정

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총 학습일:390일 | 학습시간:17시간 | 난이도:초급 | 강사:엄중섭 | 강의금액:50,490원 | 교재:없음
반도체
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    강의목표

    - 반도체 8대공정 중 금속배선 및 평탄화 공정에 대해 설명할 수 있습니다.

    강의내용

    - METAL 과정 개요와 CMOS Vertical 구조에 대해 학습합니다.
    - METAL의 용어를 학습합니다.
    - METAL 공정의 정의를 학습합니다.

    학습대상

    - 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자

    추가정보

    학습방법 : html5
    학습정원 : 150명

    근로자 직업능력개발훈련 미수료 또는 수강포기 시 패널티 (2020.01.01 개정)

    훈련수강 중 미수료 또는 수강포기한 경우 지원한도액이 차감됩니다.
    미수료 또는 수강포기 횟수 1회 2회 3회 이상
    지원한도액 차감 20만원 50만원 100만원

    학습목차

    [반도체실무과정] 8대공정 : 금속배선 및 평탄화 공정
    1. METAL 과정 개요와 CMOS Vertical 구조31 분
    2. METAL의 용어30 분
    3. METAL 공정의 정의34 분
    4. 전극 및 배선 재료의 종류와 다층배선 공정 (1)34 분
    5. 다층배선 공정 (2)30 분
    6. 다층배선 공정 (3)33 분
    7. 증착 방법에 따른 금속 공정57 분
    8. 금속박막의 특성평가 항목과 METAL 불량 사례39 분
    9. CMOS 소개와 CMP 용어 정리33 분
    10.평탄화 공정 (1) 27 분
    11.평탄화 공정 (2)35 분
    12.CMP 메카니즘과 금속 배선 공정33 분
    13.Cu 배선 공정34 분
    14.Cu 배선 공정과 불량 현상31 분
    15.Slurry28 분
    16.CMP 세정32 분

    강사소개

    강사명 엄중섭
    약력
    [경력]
    (현)한국반도체기술교육원
    삼성전자 (27년 2개월)

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